如今,现代化汽车都装备了多种传感器。这些组件可将物理输入变量转换成电气信号,提供给引擎电子控制装置以及安全便捷系统,用于实现开环和闭环控制功能。
除了主观因素之外,许多购车者在选择汽车时非常看重汽车的燃油效率、排放、安全和豪华/便捷性。这些因素推动了汽车智能传感器应用的发展。
如今的汽车系统可记录和处理众多传感输入变量,比如加速、压力、温度、引擎速度、转速、角度、力量、距离、液位和化学成分(空气质量或油品质量)。现代化的传感器可在芯片上集成传感元件和信号评估电子元件(温度补偿、模数转换等),然后通过无线方式发送信息,压力传感器从而改进性能。
本文将简要说明车用微型机械压力传感器的应用领域,并探讨其未来趋势和要求。
安装位置——技术
当前的技术和车用压力传感器的使用直接相关。传感器的安装位置(包括其温度、压力和环境介质)决定了使用哪种传感元件和封装技术。比如说,图1简要介绍了用于引擎管理的传感器。
对于压力传感器应用而言,我们可以假定在压力大于10帕时,传感器工作在液体中或通过液体传输压力信号。在这种情况下,器件封装必须满足工作环境的严格要求。对于压力小于10帕的应用(比如测量进气管气压(MAP)或大气绝对压力(BAP))而言,采用凝胶涂层封装就可以。
英飞凌科技,针对这种应用所采用的工艺是以适用于汽车应用的0.5mm BiCMOS技术。压力传感器以电容性测量原理为基础(表面微机械加工),这意味着环境介质的压力变化会导致电容发生变化,进而导致压力输出信号发生变化。为了能够转换物理压力变量,在密封腔上覆盖了一层压力敏感膜。为此,场氧化层就会在衬底的电容器下电极上产生。